தகவல் மற்றும் ஒளியியல் எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறைகளில் விரைவான வளர்ச்சி இரசாயன மெக்கானிக்கல் பாலிஷ் (CMP) தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான புதுப்பிப்பை ஊக்குவித்துள்ளது.உபகரணங்கள் மற்றும் பொருட்களுக்கு கூடுதலாக, அதி-உயர்-துல்லியமான மேற்பரப்புகளை கையகப்படுத்துவது, அதிக திறன் கொண்ட சிராய்ப்பு துகள்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் தொழில்துறை உற்பத்தியையும், அதனுடன் தொடர்புடைய மெருகூட்டல் குழம்பு தயாரிப்பையும் சார்ந்துள்ளது.மேற்பரப்பு செயலாக்க துல்லியம் மற்றும் செயல்திறன் தேவைகளின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்துடன், அதிக திறன் கொண்ட மெருகூட்டல் பொருட்களுக்கான தேவைகளும் அதிகமாகி வருகின்றன.மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் துல்லியமான ஒளியியல் கூறுகளின் மேற்பரப்பு துல்லியமான எந்திரத்தில் சீரியம் டை ஆக்சைடு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பவுடர் (VK-Ce01) பாலிஷ் பவுடர் வலுவான வெட்டும் திறன், அதிக மெருகூட்டல் திறன், அதிக மெருகூட்டல் துல்லியம், நல்ல மெருகூட்டல் தரம், சுத்தமான இயக்க சூழல், குறைந்த மாசுபாடு, நீண்ட சேவை வாழ்க்கை போன்றவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஆப்டிகல் துல்லிய மெருகூட்டல் மற்றும் CMP, முதலியன புலம் மிக முக்கியமான இடத்தைப் பிடித்துள்ளது.
சீரியம் ஆக்சைட்டின் அடிப்படை பண்புகள்:
செரியம் ஆக்சைடு என்றும் அழைக்கப்படும் செரியா, சீரியத்தின் ஆக்சைடு ஆகும்.இந்த நேரத்தில், சீரியத்தின் வேலன்ஸ் +4, மற்றும் வேதியியல் சூத்திரம் CeO2 ஆகும்.தூய தயாரிப்பு என்பது வெள்ளை கனமான தூள் அல்லது கன படிகமாகும், மேலும் தூய்மையற்ற தயாரிப்பு வெளிர் மஞ்சள் அல்லது இளஞ்சிவப்பு முதல் சிவப்பு-பழுப்பு தூள் வரை இருக்கும் (ஏனென்றால் இதில் லாந்தனம், பிரசோடைமியம் போன்றவை சுவடு அளவுகள் உள்ளன).அறை வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில், செரியா சீரியத்தின் நிலையான ஆக்சைடு ஆகும்.சீரியம் +3 வேலன்ஸ் Ce2O3 ஐ உருவாக்கலாம், இது நிலையற்றது மற்றும் O2 உடன் நிலையான CeO2 ஐ உருவாக்கும்.செரியம் ஆக்சைடு நீர், காரம் மற்றும் அமிலத்தில் சிறிது கரையக்கூடியது.அடர்த்தி 7.132 g/cm3, உருகுநிலை 2600℃, மற்றும் கொதிநிலை 3500℃.
சீரியம் ஆக்சைட்டின் மெருகூட்டல் வழிமுறை
CeO2 துகள்களின் கடினத்தன்மை அதிகமாக இல்லை.கீழே உள்ள அட்டவணையில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, வைரம் மற்றும் அலுமினியம் ஆக்சைடை விட சீரியம் ஆக்சைட்டின் கடினத்தன்மை மிகவும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் ஃபெரிக் ஆக்சைடுக்கு சமமான சிர்கோனியம் ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் ஆக்சைடை விடவும் குறைவாக உள்ளது.எனவே சிலிக்கான் ஆக்சைடு அடிப்படையிலான பொருட்களை, சிலிக்கேட் கண்ணாடி, குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி போன்றவற்றை, குறைந்த கடினத்தன்மை கொண்ட செரியாவுடன் இயந்திரக் கண்ணோட்டத்தில் மட்டுமே அகற்றுவது தொழில்நுட்ப ரீதியாக சாத்தியமில்லை.இருப்பினும், செரியம் ஆக்சைடு தற்போது சிலிக்கான் ஆக்சைடு அடிப்படையிலான பொருட்கள் அல்லது சிலிக்கான் நைட்ரைடு பொருட்களை மெருகூட்டுவதற்கு விருப்பமான பாலிஷ் பவுடர் ஆகும்.சீரியம் ஆக்சைடு மெருகூட்டல் இயந்திர விளைவுகளைத் தவிர மற்ற விளைவுகளையும் கொண்டிருப்பதைக் காணலாம்.பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் அரைக்கும் மற்றும் மெருகூட்டல் பொருளான வைரத்தின் கடினத்தன்மை பொதுவாக CeO2 லேட்டிஸில் ஆக்ஸிஜன் காலியிடங்களைக் கொண்டுள்ளது, இது அதன் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளை மாற்றுகிறது மற்றும் மெருகூட்டல் பண்புகளில் ஒரு குறிப்பிட்ட தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பொடிகளில் குறிப்பிட்ட அளவு மற்ற அரிதான எர்த் ஆக்சைடுகள் உள்ளன.பிரசியோடைமியம் ஆக்சைடு (Pr6O11) முகத்தை மையமாகக் கொண்ட கனசதுர லட்டு அமைப்பையும் கொண்டுள்ளது, இது மெருகூட்டுவதற்கு ஏற்றது, அதே சமயம் மற்ற லாந்தனைடு அரிய பூமி ஆக்சைடுகளுக்கு மெருகூட்டல் திறன் இல்லை.CeO2 இன் படிக அமைப்பை மாற்றாமல், அது ஒரு குறிப்பிட்ட வரம்பிற்குள் ஒரு திடமான தீர்வை உருவாக்க முடியும்.உயர்-தூய்மை நானோ-சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பவுடருக்கு (VK-Ce01), செரியம் ஆக்சைடின் (VK-Ce01) அதிக தூய்மை, அதிக மெருகூட்டல் திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, குறிப்பாக கடினமான கண்ணாடி மற்றும் குவார்ட்ஸ் ஆப்டிகல் லென்ஸ்களுக்கு நீண்ட நேரம்.சுழற்சி பாலிஷ் செய்யும் போது, உயர் தூய்மை செரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பவுடர் (VK-Ce01) பயன்படுத்த அறிவுறுத்தப்படுகிறது.
சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பவுடர் பயன்பாடு:
செரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் பவுடர் (VK-Ce01), முக்கியமாக கண்ணாடி பொருட்களை மெருகூட்டுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது முக்கியமாக பின்வரும் துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:
1. கண்ணாடிகள், கண்ணாடி லென்ஸ் பாலிஷ்;
2. ஆப்டிகல் லென்ஸ், ஆப்டிகல் கிளாஸ், லென்ஸ் போன்றவை;
3. மொபைல் ஃபோன் திரை கண்ணாடி, வாட்ச் மேற்பரப்பு (வாட்ச் டோர்) போன்றவை;
4. எல்சிடி அனைத்து வகையான எல்சிடி திரையையும் கண்காணிக்கும்;
5. ரைன்ஸ்டோன்கள், சூடான வைரங்கள் (அட்டைகள், ஜீன்ஸ் மீது வைரங்கள்), லைட்டிங் பந்துகள் (பெரிய மண்டபத்தில் ஆடம்பர சரவிளக்குகள்);
6. படிக கைவினைப்பொருட்கள்;
7. ஜேட் பகுதி மெருகூட்டல்
தற்போதைய சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் டெரிவேடிவ்கள்:
செரியம் ஆக்சைட்டின் மேற்பரப்பு அலுமினியத்துடன் டோப் செய்யப்படுகிறது, இது ஆப்டிகல் கிளாஸின் மெருகூட்டலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.
அர்பன்மைன்ஸ் தொழில்நுட்பத்தின் தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டுத் துறை.சிஎம்பி மெருகூட்டலின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்துவதற்கான முக்கிய முறைகள் மற்றும் அணுகுமுறைகள் மெருகூட்டல் துகள்களின் கலவை மற்றும் மேற்பரப்பு மாற்றம் என்று வரையறுக்கப்பட்டது.ஏனெனில் துகள் பண்புகள் பல-கூறு கூறுகளின் கலவை மூலம் டியூன் செய்யப்படலாம், மேலும் பரப்பு நிலைத்தன்மை மற்றும் பாலிஷ் ஸ்லரியின் மெருகூட்டல் திறன் ஆகியவை மேற்பரப்பு மாற்றத்தால் மேம்படுத்தப்படலாம்.TiO2 உடன் டோப் செய்யப்பட்ட CeO2 தூளின் தயாரிப்பு மற்றும் மெருகூட்டல் செயல்திறன் மெருகூட்டல் செயல்திறனை 50% க்கும் அதிகமாக மேம்படுத்தலாம், அதே நேரத்தில், மேற்பரப்பு குறைபாடுகளும் 80% குறைக்கப்படுகின்றன.CeO2 ZrO2 மற்றும் SiO2 2CeO2 கூட்டு ஆக்சைடுகளின் ஒருங்கிணைந்த பாலிஷ் விளைவு;எனவே, டோப் செய்யப்பட்ட செரியா மைக்ரோ-நானோ கலப்பு ஆக்சைடுகளின் தயாரிப்பு தொழில்நுட்பம் புதிய மெருகூட்டல் பொருட்களின் வளர்ச்சிக்கும், மெருகூட்டல் பொறிமுறையைப் பற்றிய விவாதத்திற்கும் மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது.ஊக்கமருந்து அளவுடன் கூடுதலாக, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட துகள்களில் டோபண்டின் நிலை மற்றும் விநியோகம் அவற்றின் மேற்பரப்பு பண்புகள் மற்றும் மெருகூட்டல் செயல்திறனை பெரிதும் பாதிக்கிறது.
அவற்றில், உறைப்பூச்சு அமைப்புடன் பாலிஷ் துகள்களின் தொகுப்பு மிகவும் கவர்ச்சிகரமானதாக இருக்கிறது.எனவே, செயற்கை முறைகள் மற்றும் நிபந்தனைகளின் தேர்வு மிகவும் முக்கியமானது, குறிப்பாக எளிமையான மற்றும் செலவு குறைந்த முறைகள்.நீரேற்றப்பட்ட சீரியம் கார்பனேட்டை முக்கிய மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தி, அலுமினியம்-டோப் செய்யப்பட்ட சீரியம் ஆக்சைடு பாலிஷ் துகள்கள் ஈரமான திட-கட்ட இயந்திர வேதியியல் முறை மூலம் ஒருங்கிணைக்கப்பட்டது.இயந்திர விசையின் செயல்பாட்டின் கீழ், நீரேற்றப்பட்ட சீரியம் கார்பனேட்டின் பெரிய துகள்கள் நுண்ணிய துகள்களாகப் பிரிக்கப்படலாம், அதே நேரத்தில் அலுமினியம் நைட்ரேட் அம்மோனியா நீருடன் வினைபுரிந்து உருவமற்ற கூழ் துகள்களை உருவாக்குகிறது.கூழ் துகள்கள் சீரியம் கார்பனேட் துகள்களுடன் எளிதில் இணைக்கப்படுகின்றன, மேலும் உலர்த்திய மற்றும் சுண்ணப்படுத்தப்பட்ட பிறகு, சீரியம் ஆக்சைட்டின் மேற்பரப்பில் அலுமினிய ஊக்கமருந்துகளை அடைய முடியும்.இந்த முறை சீரியம் ஆக்சைடு துகள்களை வெவ்வேறு அளவு அலுமினிய ஊக்கமருந்துகளுடன் ஒருங்கிணைக்கப் பயன்படுத்தப்பட்டது, மேலும் அவற்றின் மெருகூட்டல் செயல்திறன் வகைப்படுத்தப்பட்டது.சீரியம் ஆக்சைடு துகள்களின் மேற்பரப்பில் பொருத்தமான அளவு அலுமினியம் சேர்க்கப்பட்ட பிறகு, மேற்பரப்பு ஆற்றலின் எதிர்மறை மதிப்பு அதிகரிக்கும், இது சிராய்ப்பு துகள்களுக்கு இடையிலான இடைவெளியை உருவாக்கியது.வலுவான மின்னியல் விலக்கம் உள்ளது, இது சிராய்ப்பு இடைநீக்க நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.அதே நேரத்தில், கூலொம்ப் ஈர்ப்பு மூலம் சிராய்ப்பு துகள்கள் மற்றும் நேர்மறையாக சார்ஜ் செய்யப்பட்ட மென்மையான அடுக்கு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான பரஸ்பர உறிஞ்சுதல் பலப்படுத்தப்படும், இது பளபளப்பான கண்ணாடியின் மேற்பரப்பில் உள்ள சிராய்ப்பு மற்றும் மென்மையான அடுக்குக்கு இடையேயான பரஸ்பர தொடர்புக்கு நன்மை பயக்கும். மெருகூட்டல் வீதத்தின் முன்னேற்றம்.